建議優先使用蒸餾水或去離子水。 這是設備制造商和行業標準共同推薦的選擇，能保護設備并確保試驗準確性-。
不同水質的選擇可以直接參考下面的對比表格：
| 水質類型 | 推薦度 | 關鍵指標（電阻率） | 長期使用風險 |
|---|---|---|---|
| 蒸餾水/去離子水 | 強烈推薦 | 100 - 100,000 Ω·m- | 風險低，幾乎不產生水垢，對設備無損害。 |
| 純凈水 | 推薦 | 相對較高 | 風險較低，通常可直接替代蒸餾水，經濟實惠 |
| 自來水 | 嚴禁使用 | 10 - 100 Ω·m- | 風險高，會產生水垢堵塞管路，雜質吸附影響測試結果，甚至損壞傳感器- |
很多資料都說不能加自來水，主要是擔心這幾個后果：
產生水垢，堵塞管路：自來水中含有大量鈣、鎂離子，加熱后會形成水垢，日積月累就會堵塞加濕器和水管，導致設備故障-
影響測試結果：水中的雜質可能會隨著水汽吸附在測試樣品表面，影響對樣品性能的準確判斷-
損壞設備傳感器：普通用水的水汽粒子較大，長期使用可能導致濕度傳感器短路，縮短設備壽命-
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